Масочные ПЗУ

К масочным относятся ПЗУ, информация в ко­торые записывается непосредственно в процессе их изготовления. Само название данного подкласса устройств связано с техноло­гическим процессом их изготовления. Известно, что нанесение «рисунка» структуры на исходный полупроводниковый материал выполняется при помощи нескольких последовательных циклов фотолитографии (проецирование рисунка через фотошаблон на­зываемый маской) При этом отдельные элементы формируемых полупроводниковых приборов выполняются с использованием раз­личных масок, например, коллекторные и эмиттерные переходы би­полярных или выводы стока и истока полевых транзисторов.

Первоначально изготавливаются все фотошаблоны, обеспечи­вающие соединение всех ША с ШД. В этом случае по всем адре­сам из ПЗУ считывается одинаковый сигнал, например лог. 1. Далее один из шаблонов заменяют другим, в котором отсутствуют некоторые области приборов (например, коллекторные переходы транзисторов), расположенные согласно таблице истинности меж­ду шинами в тех местах, где соединение должно отсутствовать. Данный метод позволяет для изготовления ПЗУ с различной ин­формацией заменять только один из фотошаблонов, что суще­ственно ускоряет и удешевляет процесс производства.

Как следует из описания, масочные ПЗУ имеют простую и ре­гулярную структуру, что предполагает выполнение ИС, способных хранить большие объемы информации.